台积电：暂无为先进制程导入High-NA EUV必要

据报道，日前，台积电负责业务开发及全球业务的资深副总经理兼副联席COO张晓强在公司2025年技术论坛欧洲场上表示，台积电暂无为先进制程导入High-NA EUV的必要。

其指出，台积电最新公布的1.4nm级逻辑制程A14，即便未采用High-NA EUV图案化设备，其性能提升依然显著。台积电技术团队正持续通过工艺优化，在现有基础上进一步拓展Low-NA EUV技术可覆盖的制程范围。只要该路径仍能持续推进，就没有必要在量产中采用成本高昂的ASML High-NA EUV设备。