9月17日,北方华创在投资者互动平台中透露,公司前期已经发布了首台国产12英寸CCP晶边干法刻蚀设备研发成功有关信息,目前已在客户端实现量产,其优秀的工艺均匀性、稳定性赢得客户高度评价。
今年七月,北方华创正式发布应用于晶边刻蚀(Bevel Etch)工艺的12英寸等离子体刻蚀机Accura BE。
官方称,作为首台国产12英寸晶边刻蚀设备,其技术性能已达业界主流水平,其中包括:通过软件系统调度优化与特有传输平台的结合,可助力客户实现较高的产能;通过选择搭配多种刻蚀气体,实现对PR(光刻胶),OX(氧化物),SiN(氮化硅),Carbon(碳),Metal(金属)等多类膜层材料的晶边刻蚀工艺全覆盖;可定制多种尺寸的聚焦环设计组合,实现对等离子体刻蚀区域的精准位置控制等。
北方华创主营半导体装备、真空及锂电装备、精密元器件业务,为半导体、新能源、新材料等领域提供解决方案。公司现有六大研发生产基地,营销服务体系覆盖欧、美、亚等全球主要国家和地区。
其中,在半导体工艺装备领域,北方华创的主要产品包括刻蚀、薄膜、清洗、热处理、晶体生长等核心工艺装备,广泛应用于逻辑器件、存储器件、先进封装、第三代半导体、半导体照明、微机电系统、新型显示、新能源光伏、衬底材料等工艺制造过程。
在精密电子元器件领域,北方华创推动元器件向小型化、轻量化、高精密方向发展,研发的石英晶体器件、石英微机电传感器、高精密电阻器、钽电容器、微波组件、模拟芯片、模块电源等产品,应用于高铁、智能电网、通信、医疗电子、精密仪器、自动控制等领域。