3月13日,晶瑞电材在互动平台上表示,公司 KrF高端光刻胶部分品种已量产。子公司瑞红 ( 苏州 ) 电子化学品股份有限公司的 KrF光刻胶产品分辨率达到了 0.25~0.13 μ m 的技术要求,已通过部分重要客户测试,KrF高端光刻胶部分品种已量产。

光刻胶是半导体光刻工艺的核心原材料,其产品水平直接影响芯片制造水平,按曝光波长由大到小可分为G线光刻胶(436nm)、I线光刻胶(365nm)、KrF光刻胶(248nm)、ArF光刻胶(193nm)、EUV光刻胶(13.5nm)。随着芯片集成度的提高,适用于8寸、12寸半导体硅片的配KrF、ArF是当下及未来短期内各光刻胶公司的重点发力市场。

图源:浙商电子

据了解,晶瑞电材是国内最早从事光刻胶生产的企业之一,目前已经取得合肥长鑫、士兰微、扬杰科技福顺微电子、中芯国际等国内企业的供货订单。

公司子公司瑞红 ( 苏州 ) 电子化学品股份有限公司凭借强大的研发实力和突出的产品优势,取得了下游客户的认证,开拓并维系了一大批国内外优质客户,构建了优质的业务平台并成功进入优秀客户的供应链。

光刻胶有不同的技术类别,低端的中 G 线 / I线光刻胶自给率约为 20%,KrF 光刻胶自给率不足 5%,而高端的 ArF 光刻胶完全依赖进口,是国内半导体的卡脖子技术之一。

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