哈尔滨新区报8月18日消息显示,位于黑龙江省哈尔滨新区的科友第三代半导体产学研聚集区项目一期正式投用。从2021年7月正式开工以来,已完成项目一期2万平方米厂区的建设。预计年底全部达产后可形成年产10万片6英寸碳化硅衬底的生产能力。


科友第三代半导体产学研聚集区项目由哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司(简称科友半导体)与哈尔滨新区共同投资10亿元建设,将打造包括技术开发、装备设计等在内的全产业链的科技成果转化及产业化应用研究集聚区,并以哈尔滨为总部,打造国家级第三代半导体装备与材料创新中心。


目前,科友半导体研制的碳化硅感应长晶炉已实现99%的部件国产化替代,电阻式长晶炉也具备投产条件。在碳化硅晶体生长方面,科友半导体在6英寸碳化硅单晶厚度上突破32毫米,达到国内领先。同时,在长晶周期、生产成本、晶体良率等方面已经达到并保持国际同行业先进水平。


科友第三代半导体产学研聚集区的建成投用,将使科友半导体以更高的长晶良率、更快的长晶速度、更低的长晶成本,弄潮第三代半导体行业大潮,致力成为全球第三代半导体关键材料供应商之一。


“目前生产车间里已经安装完100台长晶炉,后续还要安装100台。预计年底全部达产后可形成年产10万片6英寸碳化硅衬底的生产能力。”科友半导体相关人士表示,科友第三代半导体产学研聚集区将继续深耕第三代半导体材料和装备领域,努力实现碳化硅材料从提纯——装备制造——晶体生长——衬底加工——外延晶圆的全产业链闭合,成为行业内顶尖的材料端全闭合企业。按照企业发展规划,未来两年科友半导体将实现年产20~30万片碳化硅衬底的产能,成为全球碳化硅衬底重要供应商之一。


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