据消息，近日，丽水睿昇半导体科技有限公司集成电路制造设备用关键零部件产业化项目迎来新进展。据项目负责人介绍，项目基础工程已经全部完成，整体施工进度已达75%，大部分设备已进场调试并开始产品打样，预计7月即可实现正式投产。
据悉，睿昇半导体集成电路制造设备用关键零部件产业化项目总投资10亿元，于2022年招引落地，主要建设集成电路大型溅射设备零部件生产线，生产传输平台、反应腔、传输腔、焊接反应腔等产品。建成达产后，可实现年产6000套集成电路制造设备用零部件的生产能力，预计可实现年产值15亿元、税收1.1亿元。
项目实施主体睿昇半导体是宁波江丰电子材料股份有限公司的二级子公司。后者是专业从事超大规模集成电路高纯金属材料及溅射靶材研发生产的国家高新技术企业，其研发生产的超高纯金属溅射靶材填补了国内空白。
