2023年6月2日,北方华创12英寸立式炉500台出厂仪式在亦庄总部隆重举行。出厂500台,不仅标志着北方华创12英寸立式炉已然成为国内主流客户量产优先选择的设备,更是客户对NAURA 12英寸立式炉性能与品质广泛认可的充分证明。
博观约取,厚积薄发。北方华创立式炉的研发与技术积淀,最早可以追溯到2007年。怀揣着振兴国产半导体高端装备的远大志向,北方华创以客户为中心,对标先进,持续创新,推动国产立式炉设备实现了从科研到生产,从单机到量产,从单品到系列,从技术追赶到行业标杆的多个里程碑式跨越。
如今,北方华创已形成包括氧化、退火、薄膜沉积等共23种系列化立式炉设备,基本实现立式炉工艺全覆盖。北方华创立式炉以高精度的温度控制能力,良好的成膜均匀性能力,以及先进的金属及颗粒污染控制技术,赢得市场高度肯定,广泛应用于逻辑、存储、功率、特色工艺、大硅片生产等半导体领域,是国内及东南亚12英寸主流生产线的量产主力设备。交付突破500台,不仅是北方华创对国产立式炉产业化交出的出色答卷,更是北方华创站在新的历史起点上发出的庄严承诺——创造精良,为客户和行业提供更具竞争力的产品和服务;持续创新,推动国产立式炉设备产业更优更强!