安徽华鑫微纳集成电路有限公司8英寸晶圆生产线于今年五月份完成首批产品成功串线后加快产品研发,预计九月底前进入量产阶段。
据了解,安徽华鑫微纳集成电路有限公司主要从事MEMS晶圆制造。华鑫微纳8英寸MEMS晶圆生产线项目是全国首条8英寸MEMS晶圆全自动生产线、全国首条工艺设备配套齐全的压电MEMS量产线。位于中国传感谷D区,建设投资50.6亿元,用地面积约154亩,总建筑面积8.7万平方米。全部建成投产后,将具备月产3万片晶圆的能力,成为国内产出最大的MEMS晶圆生产线。
华鑫微纳项目相关负责人表示,项目目前已经完成所有设备的进场和安装,目前正在处于11款主要产品的工艺调试,预计在9月底之前会进入批量生产阶段。负责人表示,公司下一步将会在市场方面进行深入的拓展,并在产品和平台的开发上加快研发的进度,并在2026年底实现3万片产能的目标。