据消息，日前，盛美半导体设备研发与制造中心落成暨投产典礼在上海市临港新片区顺利举行。
据悉，盛美临港项目共有5个单体，包含两座研发楼：两座厂房和一座辅助厂房，总建筑面积13.8万平方米。其中厂房面积4万平方米，共有两座厂房A和B，每座全部是高层厂房一共4层，也全部是洁净车间。在已投产的厂房A布局了智能物流仓储系统，全面提升了生产制造能级和效率，仅厂房A的产能就完全可以达到现有川沙工厂的产能，年产可以实现300-400台，年产值可以达到50亿元以上，并且还有提升潜力。明年厂房B装修完毕投入使用后，预计实现两座厂房百亿产能。
盛美临港项目是盛美清洗、电镀、先进封装湿法、立式炉管、涂胶显影和PECVD等高端半导体装备基地，落成投产后，复旦大学微电子学院和国家集成电路创新中心将会继续与盛美开展更加紧密的合作。
