近日,中国电科(山西)三代半导体技术创新中心项目主体结构顺利封顶。
据悉,中国电科(山西)三代半导体技术创新中心位于山西综改示范区潇河新兴产业园区,由中国电科二所负责实施。包括东区占地203亩的三代半导体技术创新中心试验验证线及配套项目,西区占地312亩的微电子智能制造产业基地项目,计划总投资12.7亿元,分两期建设。一期项目建成后,具备年产600台/套智能制造装备、24000片/年陶瓷基板和电路模块的能力,建成6英寸宽禁带半导体制造装备工艺验证平台和共性技术研发平台。
近日,中国电科(山西)三代半导体技术创新中心项目主体结构顺利封顶。
据悉,中国电科(山西)三代半导体技术创新中心位于山西综改示范区潇河新兴产业园区,由中国电科二所负责实施。包括东区占地203亩的三代半导体技术创新中心试验验证线及配套项目,西区占地312亩的微电子智能制造产业基地项目,计划总投资12.7亿元,分两期建设。一期项目建成后,具备年产600台/套智能制造装备、24000片/年陶瓷基板和电路模块的能力,建成6英寸宽禁带半导体制造装备工艺验证平台和共性技术研发平台。