三井化学将量产光刻薄膜新品,支持ASML下一代光刻机
日前,日本三井化学宣布将在其岩国大竹工厂设立碳纳米管 (CNT) 薄膜生产线,开始量产半导体最尖端光刻机的零部件产品(保护半导体电路原版的薄膜材料“Pellicle”的新一代产品)。
芯闻快讯
2024年06月19日