据天岳先进官微消息,近日,天岳先进向客户成功交付高质量低阻P型碳化硅衬底,标志着向以智能电网为代表的更高电压领域迈进了一步。高质量低阻P型碳化硅衬底将极大加速高性能SiC-IGBT的发展进程,实现高端特高压功率器件国产化。
据悉,针对高压大功率电力电子器件用P型碳化硅单晶衬底存在的成本高、电阻率高、缺陷控制难度大等技术难题,天岳先进深化布局前瞻性技术,在液相法领域,继2023年公布了全球首个8英寸碳化硅晶体后再次取得了重大突破,于2024年推出了采用液相法制备的4度偏角P型碳化硅衬底。
液相法具有生长高品质晶体的优势,在长晶原理上决定了可以生长超高品质的碳化硅晶体。天岳先进布局液相法多年,目前在该领域获得了低贯穿位错和零层错的碳化硅晶体。通过液相法制备的P型4度偏角碳化硅衬底,电阻率小于200mΩ·cm,面内电阻率分布均匀,结晶性良好。