据华工科技官微消息,12月24日,华工科技半导体激光装备产业创新联合实验室(以下简称“联合实验室”)启动仪式在华工激光举行。联合实验室旨在通过深度融合产业与学术资源,聚焦光电子信息和高端装备两大产业方向,推动半导体激光装备产业的技术革新与产业升级。
据了解,华工科技在武汉市科创局和经信局及东湖高新区管委会指导下牵头联合武汉华工激光工程有限责任公司、华中科技大学、湖北光谷实验室、湖北九峰山实验室、武汉华日精密激光股份有限公司、武汉云岭光电股份有限公司、长飞先进半导体(武汉)有限公司、武汉华工科技投资管理有限公司九家成员单位共同构建联合实验室,依托丰厚的团队实力、知识产权与研究成果、研发平台与设施建设,有效推动联合实验室顺利高效运转。
据悉,联合实验室以半导体关键制程激光装备落地应用为目标,着力攻克产业重大关键核心技术,开发出半导体晶圆激光加工、检测装备等产业链关键制程激光装备,并实现批量应用。未来,联合实验室将建设成为全国一流的半导体激光装备研发平台,可全方位提升国产半导体激光装备的性能与竞争力,推动武汉激光产业升级换代,助力搭建完整的武汉市半导体产业链。