SK海力士(或‘公司’,https://www.skhynix.com)21日宣布,开始量产全球最高的321层 1Tb(太比特,Terabit)TLC(Triple Level Cell)* 4D NAND闪存。
* NAND闪存芯片根据每个单元(Cell)可以存储的信息量(比特,bit),分为SLC(Single level Cell,1位)、MLC(Muti Level Cell,2位)、TLC(Triple Level Cell,3位)、QLC(Quadruple Level Cell,4位)、PLC(Penta Level Cell,5位)等不同规格。单元信息存储容量越大,意味着单位面积可以储存的数据越多。
SK海力士表示:“公司从2023年6月量产当前最高的上一代238层NAND闪存产品,并供应于市场,此次又率先推出了超过300层的NAND闪存,突破了技术界限。计划从明年上半年起向客户提供321层产品,由此应对市场需求。”
公司在此次产品开发过程中采用了高生产效率的“3-Plug*”工艺技术,克服了堆叠局限。该技术分三次进行通孔工艺流程,随后经过优化的后续工艺将3个通孔进行电气连接。在其过程中开发出了低变形*材料,引进了通孔间自动排列(alignment)矫正技术。公司技术团队也将上一代238层NAND闪存的开发平台应用于321层,由此最大限度地减少了工艺变化,与上一代相比,其生产效率提升了59%。