据报道，日前，SK Materials Airplus宣布未来十年内将投资7000亿韩元（约合人民币37亿元）建设生产气态氮(GN2)和洁净干空气(CDA)的工厂。
据了解，这两种气体用于芯片生产。在沉积过程中，使用GN2作为载气在晶圆上传输前驱体。它也用于防止退火过程中的氧化。CDA用于半导体氧化层工艺和去除废气。这些气体的使用量与芯片制造商生产的芯片数量直接相关。
SK Materials Airplus是SK海力士的子公司，为SK Hynixs、SK Siltron和SK Specialty提供GN2、CDA、氩气和其他工业气体，预计将在京畿龙仁半导体园区附近建设工厂。
