中微公司全球第500台MOCVD设备顺利付运
据悉,本批次运付的第500台MOCVD设备为中微公司2021年6月推出的Prismo UniMax®,主要用于氮化镓基Mini LED外延片量产。中微公司介绍,作为专为高性能Mini LED量产而设计的MOCVD设备,Prismo UniMax®具备高产能和高灵活性的特点,在同一系统中可配备多达4个反应腔,每个反应腔均可实现独立控制。
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