据消息，微导纳米日前发布公告称，公司公开发行可转债方案已获上交所受理。
此前公告显示，公司拟向不特定对象发行可转债拟募集资金总额不超过11.7亿元，所募资金将投向半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设项目、研发实验室扩建项目、补充流动资金。
其中，半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设项目总投资额为6.7亿元，拟使用本次募集资金约6.43亿元。项目拟计划建设先进的生产车间，购置先进生产设备和量测设备，提升公司薄膜沉积设备的生产能力。项目旨在持续对半导体领域产品进行技术升级，使其可以满足下游对设备占地面积小、产能高、使用成本低的需求。同时其可以满足超低反应温度等技术，完美实现材料厚度均匀性、膜应力、热过程以及阶梯覆盖率等极具挑战的工艺技术需求。
研发实验室扩建项目总投资额为4.3亿元，拟使用本次募集资金约2.27亿元。项目拟计划建设先进的研发洁净间，购置先进量测设备，优化公司研发测试环境，提升公司研发能力及科技成果转化能力。通过本项目的建设，公司将新增各类精密量测仪器，引进相关技术人才，新建百级净化车间，从而实现对产品多维度、多工序、不同应用场景的性能检测，更好地满足客户需求。
微导纳米表示，本次募集资金投资项目实施后，公司将进一步向精细化前沿技术领域发展，显著提升产品工艺技术能力、数字化生产能力与科技创新水平，打造新质生产力，从而为市场推出性能更优的薄膜沉积设备，满足市场升级需求。
