ASML称次先进DUV出口需获得荷兰政府许可

自ASML官网获悉，荷兰政府公布了浸润式DUV光刻机出口新规，自9月7日起生效。

声明称，根据更新后的许可证发放要求以及美国《出口管理条例》相关规定，ASML将需要向荷兰政府申请TWINSCAN NXT:1970i和1980i型号浸润式DUV光刻系统的出口许可证。

此前，ASML最先进的浸润式DUV光刻机（即TWINSCAN NXT:2000i及后续推出的浸润式DUV光刻机）已被限制，需要荷兰许可证才能发运。此外，ASML EUV光刻机的销售也需要许可证。