据台媒报道，台积电最快在2028年推出的A14P制程中引入High-NA EUV光刻技术。
近日有消息称，台积电资深副总暨副共同营运长张晓强（Kevin Zhang）透露，台积电最先进的A16制程预定2026下半年量产，将先在中国台湾投产。而下一代工艺A14预计于2026上半年进入风险试产阶段，最快2027年三季度量产。以上两个节点的主力光刻设备预计仍是ASML的Low-NA EUV机台。
而在A14改进版A14P中，台积电有望正式启用High-NA EUV光刻技术，该节点在时间上大致落在2028年。台积电将在2030年后进入A10等更先进世代，届时会全面导入High-NA EUV技术，进一步改进制程技术的成本与效能。
报道中还提到，台积电已完成量产用 ASML High-NA EUV 光刻机的首阶段采购。
