11月2日，据钛媒体消息报道，ASML全球副总裁、中国区总裁沈波在访谈中透露，到2023年底，ASML在中国的光刻机加上量测的机台装机量接近1400台。产能方面，ASML目前在手还没执行的订单有350亿欧元。
作为全球半导体行业的创新领导者，1984年成立的ASML公司，提供涵盖硬件、软件和服务在内的全景光刻解决方案，帮助芯片制造商在硅晶圆上批量“刻”制图形。同时，ASML也是目前世界上唯一使用极紫外光（EUV）的光刻机制造商。
ASML自1988年向中国交付了首台进步式光刻机后，已在中国市场深耕30余年，参与支持了中国半导体行业的发展，提供包括光刻机台、计算光刻、以及光学和电子束量测的全景光刻解决方案，从而帮助客户提高效率并降低成本。
目前，ASML在中国设有16个办事处、12个仓储物流中心、3个开发中心、1个培训中心以及1个维修中心。ASML在中国大陆的员工总人数已经超过1600人。中国已经成为ASML最重要的市场之一。今年第三季度财报显示，当季，中国大陆的销售额占ASML整体销售额的比重升至46%，今年前两个季度对应的数据分别为24%和8%。
对于中国大陆市场增长情况，沈波阐述，过去两年，受产能制约等因素影响，ASML对全球客户交付率基本维持50%左右。今年中国大陆市场交付相对较多，主要因为一些产能越大的全球客户对行业波动会越敏感，当行业景气度下滑时，这些客户会选择放缓产能建设和设备采购进度。而中国大陆的客户目前仍处于产能建设阶段，有些客户甚至刚起步，尤其在成熟制程这块需求非常旺盛，所以对行业波动相对不那么敏感。
沈波透露，“我们现在对自己产能的判断，目标是在2025年底或2026年初，具备每年500台-600台深紫外（DUV）的设备产能。”
