最新进展 | 半导体行业国产化如何,未来怎么走?
去胶设备国产化率74%;清洗设备国产化率38%;氧化扩散/热处理设备国产化率28%;化学机械抛光国产化率23%;刻蚀设备国产化率22%;薄膜沉积国产化率5.7%;过程控制国产化率3.6%;离子注入设备国产化率3.1%;光刻机国产化率1.1%;涂胶显影设备国产化率1%。从这个数据来看,芯片制造的核心设备国产化率还是很低。
设备/材料
2022年09月15日