日前，第七届智能传感器产业发展大会在蚌埠开幕。活动上，安徽华鑫微纳集成电路有限公司公开宣布，8英寸晶圆生产线首批产品成功串线，这标志着全国首条8英寸MEMS晶圆全自动生产线在蚌埠正式投产。
据悉，华鑫微纳8英寸MEMS晶圆生产线是一条集硅基MEMS、压电MEMS、CMOS-MEMS单片集成、2.5D/3D微系统集成于一体的灵活度高、兼容性强、体系完善研产高度协同的晶圆代工平台。其产品涵盖惯性传感器、压力传感器、光MEMS执行器、环境传感器、喷墨打印头等。产线规划3万片/月的8英寸MEMS晶圆制造能力，达产后将成为国内产出最大的MEMS晶圆生产线。
安徽华鑫微纳副总经理丁敬秀介绍，目前累计与50家客户达成合作意向，意向订单总计约21万片，另有3万余片晶圆合同正在洽谈中，将有效支撑2025年1万片达产。
据了解，华鑫微纳定位为国内领先的8英寸MEMS晶圆代工企业以及国内领先的“开放式、定制化MEMS代工平台基地”，可加工产品涵盖惯性传感器、压力传感器、光MEMS器件等，主要应用于高端装备、汽车电子等领域。
