匠岭12英寸SuperHiK™高端量测机台出货龙头晶圆厂

据消息，近日，继为高端存储芯片产线提供多位一体的薄膜与光学关键尺寸（Film + OCD）量测解决方案后，匠岭科技再次为12英寸先进逻辑芯片产线打造了SuperHiK™量测的完整解决方案，深度赋能客户在各关键薄膜量测环节的精准监控，保障高K材料超薄膜工艺的可持续量产，填补了本土化供应链在这个高壁垒环节的空白。

据悉，此次匠岭高端量测机台 TFT70 首次内嵌 SuperHiK™ 的创新方案，顺利出货行业内领先的12英寸集成电路制造产线。 匠岭科技坚持在光学量测领域攻坚布局，全面覆盖了前段工艺（FEOL）和后段工艺（BEOL）精准光学量测的多元化需求。