据上海临港消息，近日，芯源微上海临港厂区竣工投产仪式暨新产品发布仪式在新片区举行。
此前消息显示，2022年，上海芯源微承担建设的“芯源微临港研发及产业化”项目主体工程在临港新片区重装备产业区全面开工，园区占地45亩、规划总建筑面积约5.4万平方米，于2023年第四季度竣工，建成后将具备较强的国际先进水平半导体设备研发能力，加速高端半导体设备国产替代进程。
上海芯源微企业发展有限公司成立于2021年，是沈阳芯源微电子设备股份有限公司的全资子公司。上海芯源微主要开展28nm及以下高端工艺技术节点的集成电路光刻工艺涂胶显影设备、化学清洗设备及其核心零部件研发及产业化。
本次仪式上，芯源微发布了自主研发的首款高端设备——KCE前道单片式化学清洗机，具有高工艺覆盖性、高稳定性、高洁净度、高产能、高智能化等优势，自研16 champer高产能架构，工艺覆盖率可以达到80%以上，并且适配高温SPM工艺。目前已为近十家客户进行了Wafer Demo测试，多项工艺水平达到业界领先水平。
