2月6日,心芯相连半导体先进铜互连设备研发项目临港研发制造中心(以下简称“心芯相连项目”)顺利开工,闵行开发区临港园区再添一“芯”。

上海心芯相连半导体技术有限公司是由新阳硅密、远致星火、上海新阳共同打造的半导体高端制造设备与工艺一体的核心供应商,专注于前道大马士革金属互联工艺的开发,旨在通过自主研发打破长期国外技术壁垒,填补国内半导体先进制成电镀设备空白,完善国产化半导体装备供应产业链。


此次入驻智芯源一期的心芯相连项目专注于先进铜互联的研发和制造,而金属互联工序是集成电路生产制造中不可缺少的工艺环节,尤其是当集成电路需要更复杂的器件结构、更高的性能时,金属互联的工艺能力更显重要,心芯相连项目无疑将进一步坚实临港园区集成电路产业链。


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