“8英寸硅基压电薄膜及压电MEMS传感器制造工艺平台”项目启动
据消息,近日,2023年度国家重点研发计划“智能传感器”重点专项“8英寸硅基压电薄膜及压电MEMS传感器制造工艺平台”项目启动暨实施方案论证会在北京经济技术开发区召开。
芯闻快讯
2024年05月15日