华海清科:“集成电路化学机械抛光关键技术与装备”项目荣获国家技术发明奖一等奖
据消息,华海清科公告,公司和清华大学共同完成的“集成电路化学机械抛光关键技术与装备”项目荣获2023年度国家技术发明奖一等奖。公司董事长、首席科学家路新春作为项目第一完成人获得一等奖证书。
芯闻快讯
2024年06月25日