拓荆科技:PE-ALD设备已实现量产,Thermal-ALD设备正在客户端验证
公司PEALD设备可以覆盖逻辑芯片55-14nm SADP、STI工艺及存储领域,该产品已实现产业化应用;Thermal ALD主要应用于28nm以下制程逻辑芯片,目前根据客户指标进行优化设计和验证测试。
设备/材料
2023年09月19日