三星旗下Semes宣布量产ArF-i Track设备
据报道,6月24日,三星旗下半导体设备子公司Semes表示,将正式批量生产此前全部依赖进口的ArF-i光刻Track设备“Omega Prime”2号机。Semes在韩国首次开发该设备,并于去年批量生产了1号机。
芯闻快讯
2024年06月26日