深圳平湖实验室在SiC衬底激光剥离技术领域取得重要进展
据深圳平湖实验室官微消息,为降低材料损耗,深圳平湖实验室新技术研究部开发激光剥离工艺来替代传统的多线切割工艺,其工艺过程示意图如下所示:
芯闻快讯
2025年02月20日