中晟光电:国内首台砷化镓/磷化铟MOCVD设备成功发运
中晟光电ProMaxy® PE设备采用自主创新的气体均匀传输和快速切换控制等核心技术,旨在有效解决光通迅/激光器件等对外延材料生长的界面特性控制难题,并保障外延材料厚度和组份的均匀性,为提高器件的整体性能奠定基础
设备/材料
2022年09月15日