思锐智能半导体先进装备研发制造中心落成投产

据思锐智能官微消息,日前,思锐智能半导体先进装备研发制造中心落成投产仪式在青岛隆重举行。据悉,思锐智能半导体先进装备研发制造中心由思锐智能与青岛城投集团联合打造,总占地约95亩,总建筑面积约8.9万平方米,计划投资超12亿元,聚焦原子层沉积镀膜(ALD)和离子注入机(IMP)两大核心装备的研发与量产。思锐智能董事长聂翔表示,思锐智能半导体先进装备研发制造中心不仅是一座年产上百台核心设备的研发生产基