东方晶源国产EOS实现在高端量测检测领域的应用
据介绍,电子束量测检测设备是芯片制造装备中除光刻机之外技术难度最高的设备类别之一,深度参与光刻环节、对制程节点敏感并且对最终产线良率起到至关重要的作用。
芯闻快讯
2024年08月22日